高純氬氣
氬氣(Ar)
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項目名稱 |
純度指標(biāo)(%) |
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| 氬氣 |
≥99.9999 |
≥99.999 |
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雜質(zhì)含量(ppm) |
氧氣(O2) |
≤0.2 |
≤2 |
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水(H2O) |
≤0.2 | ≤4 | |
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氮氣(N2) |
≤0.4 | ≤5 | |
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一氧化碳(CO) |
≤1 | ≤1 | |
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二氧化碳(CO2) |
≤0.5 | ≤1 | |
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碳?xì)浠衔铮═HC) |
≤0.1 | ≤2 | |
包裝:采用40L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。
用途:用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。
理化性質(zhì): 氬氣的性質(zhì)非常穩(wěn)定,既不能燃燒,也不助燃。氬本身無毒,但在高濃度時有窒息作用。當(dāng)空氣中氬氣濃度高于33%時就有窒息的危險。當(dāng)氬氣濃度超過50%時,出現(xiàn)嚴(yán)重癥狀,濃度達(dá)到75%以上時,能在數(shù)分鐘內(nèi)死亡。液氬可以傷皮膚,眼部接觸可引起炎癥。
煙臺高純氣體廠家注意事項:密閉操作,提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易(可)燃物分開存放,切忌混儲。 一般不需特殊防護,當(dāng)作業(yè)場所空氣中氧氣濃度低于18%時,必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長管面具。
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